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全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)x

全自動(dòng)二維膜厚測(cè)量系統(tǒng)

Hightlight:: 二軸膜厚測(cè)量系統(tǒng); 可見(jiàn)光和近紅外波段; 搭配長(zhǎng)壽命閃爍氙燈; 可測(cè)量透明薄膜或者反射鋁膜

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產(chǎn)品介紹

全自動(dòng)半導(dǎo)體膜厚測(cè)量系統(tǒng) 可見(jiàn)光

膜厚測(cè)量一般根據(jù)白光干涉原理， d = (wave2 - wave1)/deltaWave * K ，其中wave指的是波長(zhǎng)，deltaWave指雙峰的波長(zhǎng)差，K指折射系數(shù)

一般白光干涉膜厚測(cè)量，只能測(cè)試較薄的薄膜，1um - 100um，其中，1um的薄膜需要用到紫外光 200nm波段左右，10-50um的用到可見(jiàn)光500-600nm波段，而較厚的薄膜80um左右用到紅外光800nm波段。白光干涉一般不使用與測(cè)超過(guò)100um的薄膜，超過(guò)100um，建議使用游標(biāo)卡尺測(cè)量。

一般透明的薄膜，我們用透射測(cè)量膜厚，而不透明的膜，比如半導(dǎo)體刻蝕中用的光刻膠或者透鏡上使用的鋁反射膜，我們使用反射進(jìn)行膜厚測(cè)量

搭配X-Y電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)平面膜厚測(cè)量系統(tǒng)，行程150mm * 150mm，最大行程1000mm * 1000mm（可定制）

下圖是使用SPM3紫外可見(jiàn)近紅外光譜儀，進(jìn)行膜厚測(cè)量的高光譜圖，藍(lán)色區(qū)域是較薄的地方，紅色區(qū)域是較厚的地方

抖音視頻演示

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B站的視頻演示

https://www.bilibili.com/video/BV1sH4y1V7CD/

根據(jù)白光干涉原理，測(cè)量半導(dǎo)體膜厚

集成的可見(jiàn)光光譜分析儀

集成的鹵鎢燈/或者長(zhǎng)壽命氙燈作為光源，寬光譜，長(zhǎng)壽命

反射式探頭

可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度測(cè)量

半導(dǎo)體鍍膜厚度測(cè)量

眼鏡鏡片膜厚檢測(cè)

應(yīng)用舉例一：膜厚測(cè)量案例

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測(cè)試系統(tǒng)搭建如上圖

1. 左邊是鹵鎢燈350-2500nm光源，光源由德國(guó)進(jìn)口的燈泡，或者長(zhǎng)壽命氙燈

2. 反射式探頭

3. 右側(cè)是采用日本進(jìn)口濱松探測(cè)器的光譜儀器 SPM3-350-1050，波長(zhǎng)范圍350-1050nm，分辨率最小0.6nm，美國(guó)產(chǎn)進(jìn)口600線光柵，或者搭配SPM3-200-800波長(zhǎng)范圍200-800nm（關(guān)注紫外部分測(cè)試）

4. 搭配電腦，數(shù)據(jù)通過(guò)USB采集

應(yīng)用舉例：鏡片鍍膜，鋁膜的厚度，厚度在1-10um，搭配氙燈，在紫外波段，使用反射法進(jìn)行測(cè)量